先端機械分野において不可欠な超精密形状計測に関する基本手法と情報処理法の基礎を学んだ後,超精密触針式計測法,走査型プローブ顕微鏡,超精密レーザ計測,超精密運動計測などに関して,最新の話題を中心に紹介する.
本講義を履修することによって次の能力を修得する。
1)超精密計測の概念と要件を説明できる。
2)超精密形状計測の具体的各方法を説明できる。
3)超精密計測を支える技術を説明できる。
4)超精密測定を開発する基礎を身につける。
超精密形状計測,情報処理,超精密触針式計測,走査型プローブ計測,レーザ計測
✔ 専門力 | 教養力 | コミュニケーション力 | 展開力(探究力又は設定力) | 展開力(実践力又は解決力) |
毎回トピックスに関して講義する。
授業計画 | 課題 | |
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第1回 | 超精密測定と標準設定技術 | 精密・超精密とは |
第2回 | 超精密触針式計測・走査式プローブ顕微鏡 | 触針トレースの限界 |
第3回 | 超精密計測のための情報処理 | 測定値処理の必要性 |
第4回 | 座標測定システム | 寸法・形状検証アルゴリズム |
第5回 | 超精密レーザ計測 | レーザ光学 |
第6回 | 運動精度測定法 | 運動精度とは |
第7回 | 測定精度と統計学的検定 -生体計測データを対象として- | 測定精度と統計学的検定 |
特になし
1)機械工学便覧β5計測工学
2)J.M.Rueger;Electronic Distance Measurement, Springer-Verlag(1990)
3)築添正;精密測定学,養賢堂(1986)
4)J.S.Bendat and A.G.Piersol;Analysis and Measurement Procedures,
John Wiley & Sons,Inc.(1971)
5)J.Feder;Fractals,Plenum Press,N.Y.(1988)
6)M.J.Bx, D.Davies and W.H.Swann;Mathematical and Statistical Techniques,Imperial Chemical IndustriesLtd.
複数回レポート提出 100% (出席はレポート課題を採点するための条件となる)
機械,システム制御系の計測の講義を受講していることが望ましい