- 開講元
- 材料系
- 授業形態
- 講義
- メディア利用科目
- 曜日・時限(講義室)
- 月7-8(S7-202) 木7-8(S7-202)
- クラス
- -
- 科目コード
- MAT.C315
- 単位数
- 2
- 開講年度
- 2017年度
- 開講クォーター
- 3Q
- シラバス更新日
- 2017年3月17日
- 講義資料更新日
- 2017年11月13日
- 使用言語
- 日本語
- アクセスランキング
-
講義
第1回 授業概要、単結晶概論：単結晶の種類と用途、単結晶の作り方 I
2017年09月25日(月) 7-8時限開講
講義日程_修正版(63KB) 
講義
第2回 授業概要、真空化学と真空技術：ガスと輸送の動力学
2017年09月28日(木) 7-8時限開講
講義
第3回 PVDプロセス (I)：真空ポンプと真空系、蒸発の物理と化学、真空装置と真空技術
2017年10月02日(月) 7-8時限開講
講義
第4回 PVDプロセス (II)：グロー放電とプラズマ、スパッタリング機構、スパッタリング装 置の技術
2017年10月05日(木) 7-8時限開講
講義
第5回 CVDプロセス (I)：CVD装置、CVDの熱力学、原料ガス輸送過程、薄膜成長の動力学
2017年10月12日(木) 7-8時限開講
講義
第6回 CVDプロセス（II)：CVDの過程と装置 薄膜成長と構造 (I)：薄膜成長、結晶核生成(1)
2017年10月16日(月) 7-8時限開講
講義
第7回 薄膜成長と構造 (II)：薄膜成長、結晶核生成(2)、結晶核生成と消滅、結晶核成長 エピタキシャル薄膜成長：構造的因子、格子ミスフィット、結晶不完全性、薄膜成長法
2017年10月19日(木) 7-8時限開講
講義
第8回 薄膜結晶構造の評価：SEM、TEM、XRD、薄膜の化学的評価 (I)：電子分光法の物理、光電子分光（XPS）、オージェ電子分光法（AES）
2017年10月23日(月) 7-8時限開講
講義
第9回
2017年10月26日(木) 7-8時限開講
講義
第10回 薄膜の化学的評価 (II)：ラザフォード広報散乱分光法（RBS）、二次イオン質量分析法（SIMS）
2017年10月30日(月) 7-8時限開講
講義
第11回 口頭発表
2017年11月02日(木) 7-8時限開講
講義
第12回 単結晶概論：単結晶の種類と用途、単結晶の作り方 II
2017年11月06日(月) 7-8時限開講
講義
第13回 結晶成長理論 I：結晶とは、結晶成長の駆動力、核生成
2017年11月09日(木) 7-8時限開講
講義
第14回 結晶成長理論 II：結晶成長速度、吸着
2017年11月13日(月) 7-8時限開講
講義
第15回 結晶成長理論 III：結晶成長の機構、結晶平衡形、成長形
2017年11月16日(木) 7-8時限開講
講義
第16回 結晶成長と状態図：いくつかの状態図を例にして
2017年11月20日(月) 7-8時限開講
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