- 開講元
- 電気電子系
- 担当教員名
- 宮本 恭幸
- 授業形態
- 講義
- メディア利用科目
- 曜日・時限(講義室)
- 火5-6(S222)
- クラス
- -
- 科目コード
- EEE.D391
- 単位数
- 1
- 開講年度
- 2016年度
- 開講クォーター
- 4Q
- シラバス更新日
- 2016年4月27日
- 講義資料更新日
- 2016年2月16日
- 使用言語
- 日本語
- アクセスランキング
-
講義
第1回 半導体加工プロセスに要求される条件と光露光の基礎
2016年12月06日(火) 5-6時限開講
講義
第2回 光露光の現状（レジストを含む露光技術）
2016年12月13日(火) 5-6時限開講
講義
第3回 電子ビーム露光（レジストを含む露光技術）
2016年12月20日(火) 5-6時限開講
講義
第4回 NGLと不純物層形成
2017年01月10日(火) 5-6時限開講
講義
第5回 酸化膜形成とエッチング
2017年01月17日(火) 5-6時限開講
講義
第6回 成膜
2017年01月24日(火) 5-6時限開講
講義
第7回 電極と配線
2017年01月31日(火) 5-6時限開講
期末試験
第8回 試験
2017年02月07日(火) 5-6時限開講
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