2018年度 プラズマ化学プロセス   Plasma Chemistry and Plasma Processing

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開講元
応用化学コース
担当教員名
森 伸介 
授業形態
講義     
曜日・時限(講義室)
月3-4(S223)  
クラス
-
科目コード
CAP.C533
単位数
1
開講年度
2018年度
開講クォーター
3Q
シラバス更新日
2018年10月1日
講義資料更新日
-
使用言語
英語
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講義の概要とねらい

【講義の概要】プラズマを利用した化学プロセスの概要や特徴の解説を行い、プロセスで用いられるプラズマの特徴、プラズマの生成方法、プラズマ中での反応や移動現象に関する講義、演習を行います。
【講義のねらい】プラズマを利用した化学プロセスの特徴や原理を理解し、操作条件の最適化やプロセス設計の指針を立てる能力を修得することを目指します.

到達目標

【到達目標】 本講義を履修することにより,プラズマを利用した化学プロセスの特徴や原理を理解し、プロセスで用いられるプラズマの特徴、プラズマの生成方法、プラズマ中での反応や移動現象に関する基礎や原理を理解し、操作条件の最適化やプロセス設計の指針を立てる能力を習得することを到達目標とします.

キーワード

プラズマ,気体放電,エッチング,CVD,スパッタリング,表面処理

学生が身につける力(ディグリー・ポリシー)

専門力 教養力 コミュニケーション力 展開力(探究力又は設定力) 展開力(実践力又は解決力)

授業の進め方

講義の前半で,復習を兼ねて前回の演習問題の解答を解説します。また,その日の講義内容の要点を演習形式で示します。講義の後半で,その日の講義内容に関する演習問題に取り組んでもらいます。

授業計画・課題

  授業計画 課題
第1回 プラズマの基礎 プラズマの基礎を説明できるようになる.
第2回 放電の種類 放電の種類の特徴を説明できるようになる.
第3回 タウンゼントメカニズムによる放電 タウンゼントメカニズムによる放電を説明できるようになる.
第4回 ストリーマーメカニズムによる放電 ストリーマーメカニズムによる放電を説明できるようになる.
第5回 プラズマ中での気相反応 プラズマ化学反応の特徴を説明でき、反応速度を計算できるようになる。
第6回 プラズマシースとプラズマ中での表面反応 低温プラズマを利用した化学プロセスを説明できるようになる.
第7回 非熱プラズマを用いた化学プロセス(I) 非熱プラズマを利用した化学プロセスを説明できるようになる.
第8回 非熱プラズマを用いた化学プロセス(II) 非熱プラズマを利用した化学プロセスを説明できるようになる.

教科書

特になし.

参考書、講義資料等

講義において配布する資料を使用します.

成績評価の基準及び方法

演習および期末試験で成績を評価する。

関連する科目

  • CAP.C206 : 反応工学第一(均一系)
  • CAP.C211 : エネルギー操作
  • CAP.C201 : 移動現象第一(運動量移動)
  • CAP.C202 : 移動現象第二(熱移動)
  • CAP.C203 :移動現象第三(物質移動)
  • CAP.C421 : エネルギー操作特論
  • CAP.C422 : 反応工学特論

履修の条件(知識・技能・履修済科目等)

履修の条件は設けない.

連絡先(メール、電話番号)    ※”[at]”を”@”(半角)に変換してください。

mori.s.aa[at]m.titech.ac.jp : 森 伸介

オフィスアワー

メールで事前予約すること.

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