- 開講元
- 材料コース
- 授業形態
- 演習
- メディア利用科目
- 曜日・時限(講義室)
- 火1-2
- クラス
- 1
- 科目コード
- MAT.M422
- 単位数
- 1
- 開講年度
- 2020年度
- 開講クォーター
- 1Q
- シラバス更新日
- 2020年3月24日
- 講義資料更新日
- -
- 使用言語
- 日本語
- アクセスランキング
-
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講義の概要とねらい
材料評価の手法として広く用いられるSEM（走査電子顕微鏡）を操作することで，SEM像の各種観察法と基本原理を演習形式で学ぶ。
到達目標
ＳＥＭの実機を操作しながら，代表的な観察法と分析法を習得することを目標とする．
キーワード
走査型電子顕微鏡，ＳＥＭ，2次電子像，反射電子像，波長分散型Ｘ線分光分析，エネルギー分散型Ｘ線分析
学生が身につける力(ディグリー・ポリシー)
| ✔ 専門力 | 教養力 | コミュニケーション力 | ✔ 展開力(探究力又は設定力) | ✔ 展開力(実践力又は解決力) |
授業の進め方
インストラクターの指示に従う．各回テーマの内容に沿ってSEM観察や分析評価を行う．
(インストラクター：大岡山分析部門 多田大)
授業計画・課題
| 授業計画 | 課題 | |
|---|---|---|
| 第1回 | SEMの基本原理と操作法 走査電子顕微鏡の基本構造の解説 基本項目の確認（倍率、焦点、非点、明るさ、コントラスト等） | SEMの基本原理、操作法, 観察試料について理解する |
| 第2回 | 試料形状と二次電子情報 材料への電子線照射と発生信号，試料傾斜とコントラスト，試料形状と二次電子情報，検出器とＳＥＭ像の位置関係，試料のチャージアップと導電処理 | 材料や試料形状が二次電子像に与える影響を理解する |
| 第3回 | ＳＥＭ像と加速電圧・照射電流 WDと焦点深度，二次電子像と加速電圧および照射電流量の関係 電子線照射による試料損傷 | 加速電圧・照射電流が二次電子像に与える影響を理解する。 |
| 第4回 | 反射電子像観察 二次電子像と反射電子像（組成像）の違い, 試料傾斜による組成像 チャネリングコントラスト 凹凸像 | 反射電子像と二次電子像の違いを理解する |
| 第5回 | WDS分析 （１) 特性X線と分光法（EDS、WDS）の原理 反射電子像とWDS分析 試料高さとWDSスペクトル 定量分析 | 元素分析のエネルギー分光法、波長分光法を理解する |
| 第6回 | EDS分析（１） EDSスペクトル ピークの同定 スポット分析 EDSとWDSのS/N比 | EDS の分析ピークを理解する |
| 第7回 | EDS分析 （２) 凹凸試料のEDSマッピング | EDSマッピングと試料表面の影響を理解する |
教科書
例えば，「新 走査型電子顕微鏡」（日本顕微鏡学会関東支部編）
参考書、講義資料等
当日配布
成績評価の基準及び方法
テスト・補講期間に総合討論会を行う
インストラクターから指示された課題による評価（100％）
関連する科目
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履修の条件(知識・技能・履修済科目等)
材料科学に関連した基礎的知識
少人数制のため，事前に履修学生を募集を行います．各Ｑでの募集案内は南8掲示板に掲示．
