材料評価の手法として広く用いられるSEM(走査電子顕微鏡)を操作することで,SEM像の各種観察法と基本原理を演習形式で学ぶ。
SEMの実機を操作しながら,代表的な観察法と分析法を習得することを目標とする.
走査型電子顕微鏡,SEM,2次電子像,反射電子像,波長分散型X線分光分析,エネルギー分散型X線分析
✔ 専門力 | 教養力 | コミュニケーション力 | ✔ 展開力(探究力又は設定力) | ✔ 展開力(実践力又は解決力) |
インストラクターの指示に従う.各回テーマの内容に沿ってSEM観察や分析評価を行う.
授業計画 | 課題 | |
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第1回 | SEMの基本原理と操作法 走査電子顕微鏡の基本構造の解説 基本項目の確認(倍率、焦点、非点、明るさ、コントラスト等) | インストラクターからの指示に従う |
第2回 | 試料形状と二次電子情報 材料への電子線照射と発生信号,試料傾斜とコントラスト,試料形状と二次電子情報,検出器とSEM像の位置関係,試料のチャージアップと導電処理 | インストラクターからの指示に従う |
第3回 | SEM像と加速電圧・照射電流 WDと焦点深度,二次電子像と加速電圧および照射電流量の関係 電子線照射による試料損傷 | インストラクターからの指示に従う |
第4回 | 反射電子像観察 二次電子像と反射電子像(組成像)の違い, 試料傾斜による組成像 チャネリングコントラスト 凹凸像 | インストラクターからの指示に従う |
第5回 | WDS分析 (1) 特性X線と分光法(EDS、WDS)の原理 反射電子像とWDS分析 試料高さとWDSスペクトル 定量分析 | インストラクターからの指示に従う |
第6回 | EDS分析(1) EDSスペクトル ピークの同定 スポット分析 EDSとWDSのS/N比 | インストラクターからの指示に従う |
第7回 | EDS分析 (2) 凹凸試料のEDSマッピング | インストラクターからの指示に従う |
第8回 | 課題検討 提出書類の講評 総合討論 | インストラクターからの指示に従う |
例えば,「新 走査型電子顕微鏡」(日本顕微鏡学会関東支部編)
当日配布
インストラクターから指示された課題による評価(100%)
材料科学に関連した基礎的知識