MEMS (MicroElectroMechanical Systems:微細電気機械システム)は、半導体微細加工技術を用いて作製したミクロンスケールの寸法の機械である。微細カンチレバー、アクチュエーター、センサーなどに応用され、世界中で重要な産業分野を創出している。本講義では、MEMSデバイスの作製プロセスと材料の特性について講義する。
シリコン系およびカーボン系の材料について、MEMSデバイスのプロセス技術を理解する。
MEMS、シリコン系材料、カーボン系材料、製造プロセス、センサー応用
✔ 専門力 | ✔ 教養力 | コミュニケーション力 | 展開力(探究力又は設定力) | ✔ 展開力(実践力又は解決力) |
シリコン系およびカーボン系材料を用いたMEMSデバイスの作製プロセスと応用について実例を示しながら解説する。
授業計画 | 課題 | |
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第1回 | MEMSの概要 | MEMSの概要 |
第2回 | シリコン材料 | シリコン材料 |
第3回 | カーボン材料 | カーボン材料 |
第4回 | 材料の選択 | 材料の選択 |
第5回 | パターン形成 | パターン形成 |
第6回 | エッチング技術 | エッチング技術 |
第7回 | プロセスフローと収率 | プロセスフローと収率 |
なし
配付資料
レポート
なし
soda[at]pe.titech.ac.jp
Appointment by e-mail
なし