- 開講元
- 電気電子系
- 担当教員名
- 菅原 聡
- 授業形態
- 講義 (Zoom)
- メディア利用科目
- 曜日・時限(講義室)
- 金3-4(S223)
- クラス
- -
- 科目コード
- EEE.D311
- 単位数
- 1
- 開講年度
- 2020年度
- 開講クォーター
- 1Q
- シラバス更新日
- 2020年9月18日
- 講義資料更新日
- -
- 使用言語
- 日本語
- アクセスランキング
-
media
講義の概要とねらい
電子材料の形成やデバイスプロセスに必要な物理化学の基礎事項について学びます．はじめに熱力学の基盤となるエンタルピー，エントロピー，自由エネルギー，化学ポテンシャルといった熱力学関数の意味と使い方について学び，化学変化の進む方向と，その到達点である化学平衡について理解します．また，電子材料の形成とデバイスプロセスに重要である表面反応について，熱力学の観点から理解します．
到達目標
本講義では電子材料の形成やデバイスプロセスに関する化学熱力学の理解とその活用法を習得する．具体的には，対象とする化学変化について，熱力学関数を用いて，その変化の方向と平衡状態を求めること，また，電子材料の形成やデバイスプロセスに重要となる表面反応について，以上の手法を用いて統括的に理解することを目標とする．
キーワード
化学熱力学，熱力学関数，表面反応
学生が身につける力(ディグリー・ポリシー)
| 専門力 | 教養力 | コミュニケーション力 | ✔ 展開力(探究力又は設定力) | 展開力(実践力又は解決力) |
| ✔ ・電気電子分野の応用専門力 | ||||
授業の進め方
毎回の講義の時間内で，その日の教授内容に関する演習を行います．
授業計画・課題
| 授業計画 | 課題 | |
|---|---|---|
| 第1回 | 熱化学方程式とエンタルピー | 内部エネルギー，エンタルピー，化学熱方程式の理解 |
| 第2回 | 化学反応とエンタルピー変化 | 化学反応におけるエンタルピー変化の求め方 |
| 第3回 | 自発変化とエントロピー | エントロピーと化学反応における自発変化の理解 |
| 第4回 | エントロピーと化学反応 | 化学反応におけるエントロピー変化の求め方 |
| 第5回 | 化学反応と自由エネルギー | 自由エネルギーの理解，化学反応における自由エネルギー変化の求め方 |
| 第6回 | 相平衡 | 相平衡の理解 |
| 第7回 | 化学ポテンシャルと化学平衡 | 化学平衡，化学ポテンシャルの理解と化学平衡の解析法 |
| 第8回 | - | - |
授業時間外学修（予習・復習等）
学修効果を上げるため，教科書や配布資料等の該当箇所を参照し，「毎授業」授業内容に関する予習と復習（課題含む）をそれぞれ概ね100分を目安に行うこと。
教科書
指定なし
参考書、講義資料等
毎回，講義資料配布
成績評価の基準及び方法
期末試験による成績評価
関連する科目
- EEE.D391 ： 半導体加工プロセス
- EEE.D301 ： 電気電子材料
履修の条件(知識・技能・履修済科目等)
特になし
