H31年度 電子材料科学   Electronic Material Science

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開講元
電気電子系
担当教員名
菅原 聡 
授業形態
講義
曜日・時限(講義室)
金3-4(S223)  
クラス
-
科目コード
EEE.D311
単位数
1
開講年度
H31年度
開講クォーター
1Q
シラバス更新日
H31年4月8日
講義資料更新日
-
使用言語
日本語
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講義の概要とねらい

電子材料の形成やデバイスプロセスに必要な物理化学の基礎事項について学びます.はじめに熱力学の基盤となるエンタルピー,エントロピー,自由エネルギー,化学ポテンシャルといった熱力学関数の意味と使い方について学び,化学変化の進む方向と,その到達点である化学平衡について理解します.また,電子材料の形成とデバイスプロセスに重要である表面反応について,熱力学の観点から理解します.

到達目標

本講義では電子材料の形成やデバイスプロセスに関する化学熱力学の理解とその活用法を習得する.具体的には,対象とする化学変化について,熱力学関数を用いて,その変化の方向と平衡状態を求めること,また,電子材料の形成やデバイスプロセスに重要となる表面反応について,以上の手法を用いて統括的に理解することを目標とする.

対応する学修到達目標は、
(1) 【専門力】基盤的な専門力
(4) 【展開力】(探究力又は設定力)整理及び分析できる力
(7) 幅広い専門知識を習得し,より高度な専門分野や他分野に自ら学修を広げる力

キーワード

化学熱力学,熱力学関数,表面反応

学生が身につける力

国際的教養力 コミュニケーション力 専門力 課題設定力 実践力または解決力
- - -

授業の進め方

毎回の講義の時間内で,その日の教授内容に関する演習を行います.

授業計画・課題

  授業計画 課題
第1回 熱化学方程式とエンタルピー 内部エネルギー,エンタルピー,化学熱方程式の理解
第2回 化学反応とエンタルピー変化 化学反応におけるエンタルピー変化の求め方
第3回 自発変化とエントロピー エントロピーと化学反応における自発変化の理解
第4回 エントロピーと化学反応 化学反応におけるエントロピー変化の求め方
第5回 化学反応と自由エネルギー 自由エネルギーの理解,化学反応における自由エネルギー変化の求め方
第6回 相平衡 相平衡の理解
第7回 化学ポテンシャルと化学平衡 化学平衡,化学ポテンシャルの理解と化学平衡の解析法
第8回 表面反応 表面化学反応の熱力学

教科書

指定なし

参考書、講義資料等

毎回,講義資料配布

成績評価の基準及び方法

期末試験による成績評価

関連する科目

  • EEE.D391 : 半導体加工プロセス
  • EEE.D301 : 電気電子材料

履修の条件(知識・技能・履修済科目等)

特になし

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