1) MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の製作技術について,精密機械加工,リソグラフィー技術,ナノテクノロジー分野の観点から現状を紹介する.
2) 上記技術により製作されたマイクロマシン,マイクロメカニズムなどが,センサ,生化学分析機器,計測系などへ,どのように応用されているかについて概観する.
3) バイオMEMSの現状を把握し,将来的な機器研究・開発の素養を涵養する.
機械,電気,生命,材料などの横断的分野における広範な専門用語を理解することができる.
本関連分野について,専門家とディスカッションできる基礎知識を習得する.
MEMS,NEMS,精密機械加工,リソグラフィー技術,ナノテクノロジー,センサ,分析機器,計測系
✔ 専門力 | 教養力 | コミュニケーション力 | 展開力(探究力又は設定力) | 展開力(実践力又は解決力) |
1) 講義資料をweb上で配布するので,講義にプリントアウトして持参すること.
2) 講義中に現物を回覧することがある.
授業計画 | 課題 | |
---|---|---|
第1回 | マイクロマシンとは -加工法,成り立ち,応用 | マイクロマシンの歴史的背景を学ぶ. |
第2回 | リソグラフィー加工法(!) -材料,回路設計,工程概要 | リソグラフィー工程,特に前工程と呼ばれるプロセスについて学ぶ. |
第3回 | リソグラフィー加工法(2) -成膜,エッチング,組立,検査 | リソグラフィー工程,特に後工程と呼ばれるプロセスについて学ぶ. |
第4回 | 検査・観察技術 -各種顕微鏡,検査装置 | MEMS製作時に使用する検査装置について学ぶ. |
第5回 | バイオテクノロジーによるナノメカ創製技術 -製作法,応用例 | バイオテクノロジーを応用したナノメカ創成法について学ぶ. |
第6回 | μTASとDNAチップ -応用分野,製作法 | 化学分析システムであるμTASとDNAチップについて学ぶ. |
第7回 | MEMSによるバイオアッセイ -応用例 | MEMS機器の生化学分野への応用を学ぶ. |
指定なし
講義資料はweb上にアップロードする.
最終回で特定の課題についてレポートを課し,これにより評価する.
特になし
メールにて問い合わせ,希望日時を設定すること.