2017年度 バイオMEMSの製作応用技術   Fabrication and Application Technology of Bio-MEMS

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開講元
ライフエンジニアリングコース
担当教員名
初澤 毅 
授業形態
講義
メディア利用
 
曜日・時限(講義室)
火3-4(B221,W833)  
クラス
-
科目コード
HCB.M562
単位数
1
開講年度
2017年度
開講クォーター
2Q
シラバス更新日
2017年4月24日
講義資料更新日
-
使用言語
日本語
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講義の概要とねらい

1) MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の製作技術について,精密機械加工,リソグラフィー技術,ナノテクノロジー分野の観点から現状を紹介する.
2) 上記技術により製作されたマイクロマシン,マイクロメカニズムなどが,センサ,生化学分析機器,計測系などへ,どのように応用されているかについて概観する.
3) バイオMEMSの現状を把握し,将来的な機器研究・開発の素養を涵養する.

到達目標

機械,電気,生命,材料などの横断的分野における広範な専門用語を理解することができる.
本関連分野について,専門家とディスカッションできる基礎知識を習得する.

キーワード

MEMS,NEMS,精密機械加工,リソグラフィー技術,ナノテクノロジー,センサ,分析機器,計測系

学生が身につける力(ディグリー・ポリシー)

専門力 教養力 コミュニケーション力 展開力(探究力又は設定力) 展開力(実践力又は解決力)

授業の進め方

1) 講義資料をweb上で配布するので,講義にプリントアウトして持参すること.
2) 講義中に現物を回覧することがある.

授業計画・課題

  授業計画 課題
第1回 マイクロマシンとは -加工法,成り立ち,応用 マイクロマシンの歴史的背景を学ぶ.
第2回 リソグラフィー加工法(!) -材料,回路設計,工程概要 リソグラフィー工程,特に前工程と呼ばれるプロセスについて学ぶ.
第3回 リソグラフィー加工法(2) -成膜,エッチング,組立,検査 リソグラフィー工程,特に後工程と呼ばれるプロセスについて学ぶ.
第4回 検査・観察技術 -各種顕微鏡,検査装置 MEMS製作時に使用する検査装置について学ぶ.
第5回 バイオテクノロジーによるナノメカ創製技術 -製作法,応用例 バイオテクノロジーを応用したナノメカ創成法について学ぶ.
第6回 μTASとDNAチップ -応用分野,製作法 化学分析システムであるμTASとDNAチップについて学ぶ.
第7回 MEMSによるバイオアッセイ -応用例 MEMS機器の生化学分野への応用を学ぶ.

教科書

指定なし

参考書、講義資料等

講義資料はweb上にアップロードする.

成績評価の基準及び方法

最終回で特定の課題についてレポートを課し,これにより評価する.

関連する科目

  • MEC.J331 : マイクロ・ナノ加工基礎
  • MEC.J332 : 精密測定学
  • MEC.J531 : マイクロ・ナノシステム
  • MEC.J532 : マイクロ・ナノ機械加工特論

履修の条件(知識・技能・履修済科目等)

特になし

オフィスアワー

メールにて問い合わせ,希望日時を設定すること.

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