- 開講元
- 機械系
- 授業形態
- 講義
- メディア利用科目
- 曜日・時限(講義室)
- 月1-2(I311)
- クラス
- -
- 科目コード
- MEC.J331
- 単位数
- 1
- 開講年度
- 2017年度
- 開講クォーター
- 1Q
- シラバス更新日
- 2017年4月26日
- 講義資料更新日
- 2017年5月21日
- 使用言語
- 日本語
- アクセスランキング
-
講義
第1回 MEMS/NEMSの基礎
2017年04月10日(月) 1-2時限開講
講義
第2回 パターニング
2017年04月17日(月) 1-2時限開講
講義
第3回 堆積
2017年04月24日(月) 1-2時限開講
講義
第4回 ウェットエッチング
2017年05月01日(月) 1-2時限開講
講義
第5回 ドライエッチング
2017年05月08日(月) 1-2時限開講
講義
第6回 ナノ加工
2017年05月15日(月) 1-2時限開講
講義
第7回 次世代加工技術
2017年05月22日(月) 1-2時限開講
講義
第8回 まとめ
2017年05月29日(月) 1-2時限開講
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