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超精密機械システムやマイクロシステムに関する基礎知識を講述する.
超精密機構やマイクロシステムの研究を理解するために必要な基礎知識の習得
1)超精密機械システム 案内・軸受,アクチュエータ,計測およびコントローラ2)マイクロシステム 製造技術,アクチュエータおよびセンサ
資料配付
極限機械システム特論Bの受講を臨む学生は,本講義受講が必須.
出席およびレポート