- 担当教員
- 佐藤 海二
- 使用教室
- 火7-8(Ｇ114)
- 単位数
- 講義：1 演習：0 実験：0
- 講義コード
- 83060
- シラバス更新日
- 2015年2月12日
- 講義資料更新日
- 2015年2月12日
- 学期
- 後期
講義概要
マイクロメートルオーダ以下の精度で，その機能，性能が論じられる精密・超精密な運動システムに関連した諸問題を考察するとともに，それらを解決するためのシステム化技術について講義する．
講義の目的
精密・超精密な運動システムを実現するための基本的知識を修得させる．
講義計画
次の話題を取り上げて，精密・超精密運動システムについて講義する：
(1)精密運動システム基礎
(2)可動範囲の狭い精密運動システム
(3)可動範囲の広い精密運動システム
(4)半導体露光装置の構成と変遷
(5)座標測定機の役割と構成
(6)マイクロダイナミクスとその応用
など
教科書・参考書等
適宜資料を配布するとともに，参考文献を紹介する．
関連科目・履修の条件等
履修者が機械力学等の機械系科目や古典制御等に関する基礎知識を持っていることを前提に講義を行う．
成績評価
出席とレポートにより，成績を評価する．
担当教員の一言
履修生には，自分が精密運動システムを実現することを想定しながら，講義に参加していただきたい．
連絡先（メール、電話番号）
kaiji＠pms.titech.ac.jp
5045
