講義概要
メカノマイクロ工学の解析・設計・計測・制御等に必要な基礎的な実験技術を修得させる。実験内容はパラレルロボットの機構解析と制御，ネットワーク援用計測系の構成，プロセス制御，電気泳動による核酸の検出，振動・音響計測とFFTによる処理、電子線描画によるマイクロ構造の製作，空気圧位置決めサーボシステムの動特性，マイクロ放電加工機を用いたサンプル製作，超精密ダイヤモンド切削加工，基礎加工技術。
講義の目的
メカノマイクロ工学分野に必要な制御，計測，および加工等に関する基礎的な実験技術を修得させる．
講義計画
１．基礎学実験（０）
２．基礎学実験（１）
３．基礎学実験（２）
４．基礎学実験（３）
５．基礎学実験（４Ⅰ）
６．基礎学実験（４Ⅱ）
７．基礎学実験（５）
８．メカノマイクロプロセス室初回講習およびフォトリソグラフィとドライエッチングによるマイクロ構造の製作
９．基礎加工技術
教科書・参考書等
専攻ホームページより電子ファイル形式のテキストをダウンロードする．
関連科目・履修の条件等
メカノマイクロ工学専攻学生のみ申告可
成績評価
各実験終了後１週間以内にレポートを提出する．
担当教員の一言
必修科目であることを忘れずに，頑張って頂きたい．
