マイクロマシンの製作プロセス,MEMS/NEMSについて講義するとともに,バイオテクノロジーへの応用について紹介する。
マイクロマシンの製作プロセス,MEMS/NEMS について講義するとともに,バイオテクノロジーへの応用について紹介する.
1.微細加工の概略・応用例(機械要素・アクチュエータ)
2.微細加工プロセス1(プロセス全般,露光装置)
3.微細加工プロセス2(成膜,後工程,真空)
4.測定評価(顕微鏡,表面計測,SPM)
5.ナノテクへの展開
6.バイオマイクロシステム1(DNA 分析・操作)
7.バイオマイクロシステム2(たんぱく質)
8.バイオマイクロシステム3(細胞分離・分析)
9.バイオマイクロシステム4(組織・再生医工学)
10.ナノバイオロジーへの応用
その他,時宜に応じたトピックを紹介する.
必要に応じて資料を配付する
特になし
各教員へのレポート提出による
MEMS/NEMS一般から,バイオテクノロジーを使ったナノテクまでを紹介する.