- 使用教室
- 火5-6(G224)
- 単位数
- 講義：2 演習：0 実験：0
- 講義コード
- 83037
- シラバス更新日
- 2010年9月24日
- 講義資料更新日
- 2010年9月20日
- 学期
- 後期
講義概要
マイクロマシンの製作プロセス，MEMS/NEMSについて講義するとともに，バイオテクノロジーへの応用について紹介する。
講義の目的
マイクロマシンの製作プロセス，MEMS/NEMS について講義するとともに，バイオテクノロジーへの応用について紹介する．
講義計画
１．微細加工の概略・応用例（機械要素・アクチュエータ）
２．微細加工プロセス１（プロセス全般，露光装置）
３．微細加工プロセス２（成膜，後工程，真空）
４．測定評価（顕微鏡，表面計測，SPM）
５．ナノテクへの展開
６．バイオマイクロシステム１（DNA 分析・操作）
７．バイオマイクロシステム２（たんぱく質）
８．バイオマイクロシステム３（細胞分離・分析）
９．バイオマイクロシステム４（組織・再生医工学）
１０．ナノバイオロジーへの応用
その他，時宜に応じたトピックを紹介する．
教科書・参考書等
必要に応じて資料を配付する
関連科目・履修の条件等
特になし
成績評価
各教員へのレポート提出による
担当教員の一言
MEMS/NEMS一般から，バイオテクノロジーを使ったナノテクまでを紹介する．
