微細加工・応用特論   Micromachining and Applications

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担当教員
初澤 毅  柳田 保子 
使用教室
火5-6(G224)  
単位数
講義:2  演習:0  実験:0
講義コード
83037
シラバス更新日
2009年10月19日
講義資料更新日
2009年9月28日
学期
後期

講義概要

マイクロマシンの製作プロセス,MEMS/NEMSについて講義するとともに,バイオテクノロジーへの応用について紹介する。

講義の目的

マイクロマシンの製作プロセス,MEMS/NEMS について講義するとともに,バイオテクノロジーへの応用について紹介する.

講義計画

1.微細加工の概略・応用例(機械要素・アクチュエータ)
2.微細加工プロセス1(プロセス全般,露光装置)
3.微細加工プロセス2(成膜,後工程,真空)
4.測定評価(顕微鏡,表面計測,SPM)
5.ナノテクへの展開
6.バイオマイクロシステム1(DNA 分析・操作)
7.バイオマイクロシステム2(たんぱく質)
8.バイオマイクロシステム3(細胞分離・分析)
9.バイオマイクロシステム4(組織・再生医工学)
10.ナノバイオロジーへの応用
その他,時宜に応じたトピックを紹介する.

教科書・参考書等

必要に応じて資料を配付する

関連科目・履修の条件等

特になし

成績評価

各教員へのレポート提出による

担当教員の一言

MEMS/NEMS 一般から,バイオテクノロジーを使ったナノテクまでを紹介する.

その他

【オフィスアワー】
9:00-17:00(12:00-13:00除く)

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