材料研究において、高い空間分解能の持つ電子顕微鏡は最も重要な解析ツールのひとつである。本講義では、走査型電子顕微鏡(SEM)と透過型電子顕微鏡(TEM)の原理や材料解析に必要な基礎的・応用的な知識を習得することを目的とする。電子光学的な手法は勿論、特性X線やエネルギー損失などの分光法と組み合わせた様々な分析手法を網羅的に解説する。また、収差補正による超高分解能法など、現在進行形の最新技術も紹介する。
材料研究で必要な電子顕微鏡に関する基礎的・応用的な知識を身につけることを目的とする。
1.電子顕微鏡とは
2.結像と顕微鏡法の基礎(光学顕微鏡を含む)
3.電子顕微鏡の構造
4.走査型電子顕微鏡(SEM)の原理
5.SEMの応用例
6.結晶格子・結晶構造、電子回折
7.透過型電子顕微鏡(TEM)
8.暗視野・明視野法とその応用
9.高分解能法とコントラスト伝達
10.収差補正
11.走査型透過電子顕微鏡 (STEM)
12.位相差法
13.各種分析手法 EDS、EELS
14.TEMによる材料機能の観察
15.試料作製
特になし
特になし
(1)レポートと、(2)出席点により評価する。
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