デバイスプロセス特論   Device Process

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担当教員
和田 裕之 
使用教室
火1-2(J232)  
単位数
講義:2  演習:0  実験:0
講義コード
97031
シラバス更新日
2015年4月1日
講義資料更新日
2015年4月1日
アクセス指標
学期
前期

講義

第1回 概論

2015年04月07日(火) 1-2時限開講

講義

第2回 材料・プロセス

2015年04月14日(火) 1-2時限開講

講義

第3回 プロセス(成膜)

2015年04月21日(火) 1-2時限開講

講義

第4回 プロセス(リソグラフィー)

2015年04月28日(火) 1-2時限開講

講義

第5回 プロセス(エッチング)

2015年05月12日(火) 1-2時限開講

講義

第6回 プロセス(その他)

2015年05月19日(火) 1-2時限開講

講義

第7回 物理センサ 1

2015年05月26日(火) 1-2時限開講

講義

第8回 物理センサ 2

2015年06月02日(火) 1-2時限開講

講義

第9回 化学・バイオセンサ

2015年06月09日(火) 1-2時限開講

講義

第10回 アクチュエータ 1

2015年06月16日(火) 1-2時限開講

講義

第11回 アクチュエータ 2

2015年06月23日(火) 1-2時限開講

講義

第12回 マイクロ流路 1

2015年06月30日(火) 1-2時限開講

講義

第13回 マイクロ流路 2

2015年07月07日(火) 1-2時限開講

講義

第14回 マイクロ流路 3

2015年07月14日(火) 1-2時限開講

講義

第15回 まとめ

2015年07月21日(火) 1-2時限開講

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