デバイスプロセス特論   Device Process

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担当教員
和田 裕之 
使用教室
火1-2(J221)  
単位数
講義:2  演習:0  実験:0
講義コード
97031
シラバス更新日
2014年4月3日
講義資料更新日
2014年4月3日
アクセス指標
学期
前期

講義

第1回 概論

2014年04月08日(火) 1-2時限開講

講義

第2回 材料・プロセス

2014年04月15日(火) 1-2時限開講

講義

第3回 プロセス(成膜)

2014年04月22日(火) 1-2時限開講

講義

第4回 プロセス(リソグラフィー)

2014年05月08日(木) 1-2時限開講

講義

第5回 プロセス(エッチング)

2014年05月13日(火) 1-2時限開講

講義

第6回 自習

2014年05月20日(火) 1-2時限開講

講義

第7回 プロセス(その他)

2014年05月27日(火) 1-2時限開講

講義

第8回 物理センサ 1

2014年06月03日(火) 1-2時限開講

講義

第9回 物理センサ 2

2014年06月10日(火) 1-2時限開講

講義

第10回 化学・バイオセンサ

2014年06月17日(火) 1-2時限開講

講義

第11回 アクチュエータ 1

2014年06月24日(火) 1-2時限開講

講義

第12回 アクチュエータ 2

2014年07月01日(火) 1-2時限開講

講義

第13回 マイクロ流路 1

2014年07月08日(火) 1-2時限開講

講義

第14回 マイクロ流路 2

2014年07月15日(火) 1-2時限開講

講義

第15回 マイクロ流路 3

2014年07月22日(火) 1-2時限開講

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