- 担当教員
- 和田 裕之
- 使用教室
- 火1-2(J221)
- 単位数
- 講義：2 演習：0 実験：0
- 講義コード
- 97031
- シラバス更新日
- 2012年3月26日
- 講義資料更新日
- 2012年3月26日
- 学期
- 前期
講義概要
身の回りにあるセンサ等の材料作製の方法、原理と構造の修得を目標とする。内容はエレクトロニクスからバイオテクノロジーまでの広い範囲をカバーし、異分野の人でもわかりやすいように説明する。「材料・作製プロセス」ではMEMS材料の化学的，物理的特性とデバイス作製プロセス、「デバイスの構造と原理」では物理センサ，バイオ・化学センサ，アクチュエータに大別し，各種デバイスの基本原理，構造，動作等を説明する。
講義の目的
MEMS(マイクロマシン)の材料・作製プロセス、および、デバイスの原理と構造の修
得を目標とする。前半の「材料・作製プロセス」ではMEMS 材料の特性と半導体プロセ
スを利用したデバイス作製に関して講義する。後半の「デバイスの原理と構造」では
物理･化学･バイオセンサ、アクチュエータ、マイクロ流路デバイスに大別し、各種MEMS
デバイスの基本原理、構造、動作等に関する講義を行う。
講義計画
1. 概論 6. プロセス(その他)
2. 材料･プロセス 7. 物理センサ1,2
3. プロセス(リソグラフィー) 8. 化学･バイオセンサ
4. プロセス(エッチング) 9. アクチュエータ1,2
5. プロセス(成膜) 10. マイクロ流路デバイス1,2,3
教科書・参考書等
教員が準備した資料を配布する。参考書は講義で紹介するが、｢センサ･マイクロマ
シン工学 藤田博之編著 オーム社｣等が分かりやすく良くまとまっている。
関連科目・履修の条件等
基礎から応用まで平易に説明するため、特になし。
成績評価
出席点と最終回に課すレポートにより評価する。
担当教員の一言
日常生活でMEMS自体を目にすることは少ないかもしれませんが、MEMSは自動車の制
御系、インクジェットプリンタ、携帯電話のキーデバイスとして現代生活に欠くこと
のできないものの１つです。講義は、特に予備知識がなくても、半導体プロセスの全
体像とデバイスを理解できる構成としています。
