講義概要
MEMSの材料・作製プロセス・デバイスの構造と原理の修得を目標とする。「材料・作製プロセス」ではMEMS材料の化学的，物理的特性と半導体プロセスを利用したデバイス作製プロセスを説明する。「デバイスの構造と原理」では物理センサ，バイオ・化学センサ，アクチュエータに大別し，各種MEMSデバイスの基本原理，構造，動作等を説明する。
MEMSの材料・作製プロセス・デバイスの構造と原理の修得を目標とする。「材料・作製プロセス」ではMEMS材料の化学的，物理的特性と半導体プロセスを利用したデバイス作製プロセスを説明する。「デバイスの構造と原理」では物理センサ，バイオ・化学センサ，アクチュエータに大別し，各種MEMSデバイスの基本原理，構造，動作等を説明する。