プラズマ工学基礎   Introduction to Plasma Engineering

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担当教員
飯尾 俊二 
使用教室
木7-8(原輪-1 North No.2 5F-571)  
単位数
講義:2  演習:0  実験:0
講義コード
71054
シラバス更新日
2010年3月22日
講義資料更新日
2010年3月22日
学期
前期

講義概要

プラズマの可能性と利用は光源である蛍光灯から核融合までと幅広く,その熱,光,イオン発生は材料改質,表面改質,半導体,物質分解・合成にひろがり,ハイテク産業の推進には欠くことの出来ない存在になっている。物質の第4の状態と呼ばれるプラズマは物理的にも化学的にも通常の気体とは全く異なったさまざまな性質を示す。プラズマ工学基礎では,入門編から始め弱電離プラズマの特性を中心に講義する。火花放電のタウンゼンド理論,弱電離プラズマの基礎方程式,荷電粒子の磁界中の運動,伝熱現象,簡単なプラズマの計測,および弱電離プラズマの応用についても述べる。

講義の目的

プラズマの可能性と利用は光源である蛍光灯から核融合までと幅広く、その熱、光、イオン発生は材料改質、表面改質、半導体、物質分解・合成にひろがり、ハイテク産業の推進には欠くことの出来ない存在になっている。そもそも物質の第4の状態と呼ばれるプラズマは物理的にも化学的にも通常の気体とは全く異なったさまざまな性質を示す。プラズマ工学基礎では、プラズマの生成法、弱電離プラズマの特性と応用を中心に講義する。火花放電のタウンゼンド理論からはじめ、弱電離プラズマの基礎方程式、荷電粒子の磁界中の運動、輸送現象、簡単なプラズマの計測、およびその利用についても述べる。プラズマは感覚的に未知の物質であることから、取扱いが困難で発生には経験が必要である。多くのプラズマ応用について具体的例を挙げて、詳述したい。

講義計画

01.プラズマとは何か
02.火花放電のタウゼント理論、パッシェンの法則
03.励起と電離、パルス放電
04.弱電離プラズマ中における衝突
05.弱電離放電プラズマ、静電探針
06.磁界中の荷電粒子の運動
07.高周波放電、放電以外のプラズマ生成法
08.弱電離プラズマの基礎方程式
09.外部磁界中の弱電離プラズマ
10.弱電離プラズマにおける伝熱現象
11.熱プラズマを利用した溶射プロセス
12.弱電離プラズマの応用

教科書・参考書等

参考書等
林 泉著 「プラズマ工学」 朝倉書店 1987

成績評価

出席とレポート

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