- 使用教室
- 集中講義等
- 単位数
- 講義：1 演習：0 実験：0
- 講義コード
- 55031
- シラバス更新日
- 2015年10月2日
- 講義資料更新日
- 2015年10月2日
- アクセス指標
-
- 学期
- 後期
講義
第1回 Introduction
2015年11月17日(火) 7-8時限開講
講義
第2回 Silicon based materials
2015年11月17日(火) 9-10時限開講
講義
第3回 Carbon based materials
2015年11月18日(水) 5-6時限開講
講義
第4回 Material selection
2015年11月18日(水) 7-8時限開講
講義
第5回 Patterning and wet etching
2015年11月18日(水) 9-10時限開講
講義
第6回 Other etching techniques, bonding
2015年11月20日(金) 1-2時限開講
講義
第7回 Process flow and yield
2015年11月20日(金) 3-4時限開講
