放電・プラズマ技術の先端産業応用 Frontier Industry Application of Electrical Discharge and Plasma Technology

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担当教員: 安岡康一葛本昌樹藤原伸夫渕上宏幸武藤浩隆橋本隆荒木健西前順一民田太一郎谷村康宏谷村康宏

使用教室: 金7-8(S323)

単位数: 講義：2 演習：0 実験：0

講義コード: 54016

シラバス更新日: 2013年9月28日

講義資料更新日: 2013年9月28日

アクセス指標

学期: 後期

講義概要

大学院修士課程学生を対象に、産業界で実用されている放電・プラズマ応用技術について基礎と応用について概説し、基礎理論を実用につなげるための工学的視野を養成する。本講義では、ナノテク分野から環境・エネルギー分野までの広範囲にわたり、事業として展開されている実例を中心に、基礎技術開発から事業化までの流れを実務経験者が直に講義する。

講義の目的

大学院修士課程学生を対象に，産業界で実用化されている放電・プラズマ技術について，技術の基礎を理解させるとともに，理論を実用につなげる工学的視点を養成する。

講義計画

01. 講義概要（安岡，葛本）
02. 超微細加工を実現するプラズマ装置（藤原）
03. 半導体製造装置，エッチング，薄膜形成（藤原）
04. 太陽電池，表面加工，表面改質（渕上）
05. 光源，ガスレーザと加工機（西前）
06. 炭酸ガスレーザ，エキシマレーザ（西前）
07. オゾンの発生と応用（葛本）
08. プラズマを用いた水処理技術（谷村）
09. 材料の加工と創成、放電加工など（橋本）
10. 溶接，トーチ，ナノ粒子，高機能表面加工（荒木）
11. プラズマ生成用電源回路（民田）
12. プラズマの等価回路と物理モデル（民田）
13. 電力の安定供給を実現する機器（１）遮断器（武藤）
14. 電力の安定供給を実現する機器（２）変圧器（武藤）
15. 課題発表（葛本，安岡）

教科書・参考書等

資料配付予定

成績評価

レポート課題，グループ発表による。