大学院修士課程学生を対象に、産業界で実用されている放電・プラズマ応用技術について基礎と応用について概説し、基礎理論を実用につなげるための工学的視野を養成する。本講義では、ナノテク分野から環境・エネルギー分野までの広範囲にわたり、事業として展開されている実例を中心に、基礎技術開発から事業化までの流れを実務経験者が直に講義する。
大学院修士課程学生を対象に,産業界で実用化されている放電・プラズマ技術について,技術の基礎を理解させるとともに,理論を実用につなげる工学的視点を養成する。
01. 講義概要(安岡,葛本)
02. 超微細加工を実現するプラズマ装置(藤原)
03. 半導体製造装置,エッチング,薄膜形成(藤原)
04. 太陽電池,表面加工,表面改質(渕上)
05. 光源,ガスレーザと加工機(西前)
06. 炭酸ガスレーザ,エキシマレーザ(西前)
07. オゾンの発生と応用(葛本)
08. プラズマを用いた水処理技術(谷村)
09. 材料の加工と創成、放電加工など(橋本)
10. 溶接,トーチ,ナノ粒子,高機能表面加工(荒木)
11. プラズマ生成用電源回路(民田)
12. プラズマの等価回路と物理モデル(民田)
13. 電力の安定供給を実現する機器(1)遮断器(武藤)
14. 電力の安定供給を実現する機器(2)変圧器(武藤)
15. 課題発表(葛本,安岡)
資料配付予定
プラズマ工学,高電圧工学(学部)
レポート課題,グループ発表による。