講義概要

大学院修士課程学生を対象に、産業界で実用されている放電・プラズマ応用技術について基礎と応用について概説し、基礎理論を実用につなげるための工学的視野を養成する。本講義では、ナノテク分野から環境・エネルギー分野までの広範囲にわたり、事業として展開されている実例を中心に、基礎技術開発から事業化までの流れを実務経験者が直に講義する。

講義の目的

大学院修士課程学生を対象に、産業界で実用されている放電・プラズマ応用技術について基礎と応用について概説し、基礎理論を実用につなげるための工学的視野を養成する。本講義では、ナノテク分野から環境・エネルギー分野までの広範囲にわたり、事業として展開されている実例を中心に、基礎技術開発から事業化までの流れを実務経験者が直に講義する。
大学院修士課程学生を対象に，産業界で実用化されている放電・プラズマ技術について，技術の基礎を理解させるとともに，理論を実用につなげる工学的視点を養成する。

講義計画

01. 講義概要（安岡，葛本）
02. 超微細加工を実現するプラズマ装置（藤原）
03. ・半導体製造装置，エッチング，薄膜形成（藤原）
04. ・太陽電池，表面加工，表面改質（渕上）
05. 環境改善機器（葛本）
06. ・オゾナイザ，有害ガス分解装置（葛本）
07. 電力の安定供給を実現する機器（武藤）
08. ・遮断器，絶縁機器（武藤）
09. 材料の加工と創成、放電加工など（湯澤）
10. ・溶接，トーチ，ナノ粒子，高機能表面加工（荒木）
11. 光源，ガスレーザと加工機（西前）
12. ・炭酸ガスレーザ，エキシマレーザ（西前）
13. プラズマ生成用電源回路（民田）
14. ・プラズマの等価回路と物理モデル（民田）
15. 課題発表（葛本，安岡）

教科書・参考書等

資料配付予定。

成績評価

レポート課題と課題発表による。

放電・プラズマ技術の先端産業応用 Frontier Industry Application of Electrical Discharge and Plasma Technology

講義概要

講義の目的

講義計画

教科書・参考書等

関連科目・履修の条件等

成績評価