大学院修士課程学生を対象に、産業界で実用されている放電・プラズマ応用技術について基礎と応用について概説し、基礎理論を実用につなげるための工学的視野を養成する。講師陣は、放電・プラズマを利用した産業応用機器を開発し、ナノテク分野から環境・エネルギー分野にわたる広い範囲で事業として展開している。
本講義では、講師陣が事業として展開している実例を中心に、基礎技術開発から事業化までの流れを経験者が直に講義する。
大学院修士課程学生を対象に,産業界で実用化されている放電・プラズマ技術について,技術の基礎を理解させるとともに,理論を実用につなげる工学的視点を養成する。
01. 講義概要
02. 超微細加工を実現するプラズマ装置
03. ・半導体製造装置,エッチング,薄膜形成
04. ・太陽電池,表面加工,表面改質
05. 光源,ガスレーザと加工機
06. ・炭酸ガスレーザ,エキシマレーザ
07. 環境改善機器
08. ・オゾナイザ,有害ガス分解装置
09. 材料の加工と創成、放電加工など
10. ・溶接,トーチ,ナノ粒子,高機能表面加工
11. 電力の安定供給を実現する機器
12. ・遮断器,絶縁機器
13. プラズマ生成用電源回路
14. ・プラズマの等価回路と物理モデル
15. 課題発表
バリア放電(刊行予定)」等を参考書として使用する。また、適宜資料を配付する。
プラズマ工学(前期)を履修しておくことが望ましい。
レポート課題と課題発表による。