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セラミックス薄膜の形成や合成法の基礎的知識とそれによって発現する性質の測定について基本的な考え方を示し,最近の研究成果について述べる。(1) セラミック薄膜の特徴 (2) 薄膜成長の基礎 (3) PVD法による薄膜作成(4) CVD法による薄膜作成 (5) 薄膜のキャラクタリゼーション