マイクロ・ナノメカニクス入門 Introduction to Micro-and Nano-Technology

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担当教員: 進士忠彦栁田保子

使用教室: 木7-8(I121)

単位数: 講義：2 演習：0 実験：0

講義コード: 6650

シラバス更新日: 2010年9月20日

講義資料更新日: 2010年9月20日

学期: 後期 / 推奨学期：6

概要

講義概要

I　マイクロマシンに代表されるマイクロ・ナノテクノロジーを利用した機械工学の基礎を修得させる。
II　微細加工技術，マイクロメカニズム，マイクロアクチュエータ，マイクロ計測，マイクロバイオセンサ