マイクロ・ナノメカニクス入門   Introduction to Micro-and Nano-Technology

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担当教員
進士 忠彦  柳田 保子 
使用教室
火3-4(H113)  
単位数
講義:1  演習:0  実験:0
講義コード
6650
シラバス更新日
2009年8月4日
講義資料更新日
2009年8月4日
学期
前期  /  推奨学期:7

講義概要

I マイクロマシンに代表されるマイクロ・ナノテクノロジーを利用した機械工学の基礎を修得させる。
II 微細加工技術,マイクロメカニズム,マイクロアクチュエータ,マイクロ計測,マイクロバイオセンサ

講義の目的

21世紀の技術を支えるナノ・マイクロテクノロジーの基礎を学び,種々の応用例を通して機械工学への興味と新しい技術開発への意欲を喚起する。

講義計画

1.マイクロ・ナノメカニクス概論
2.微細加工技術(1)(成膜プロセス:真空機器,蒸着,CVD,他)
3.微細加工技術(2)(加工プロセス:フォトリソグラフィー,エッチング,他)
4.マイクロ・ナノセンシング(電子顕微鏡,SPM,他)
5.マイクロ・ナノアクチュエーション(静電,磁気,形状記憶合金アクチュエータ,他)
6.バイオテクノロジーへのマイクロ・ナノメカニクスの応用
7.マイクロ・ナノメカニクス見学会(メカノマイクロシステム室,他)

教科書・参考書等

資料を配布

関連科目・履修の条件等

なし

成績評価

授業出席,レポート提出など

担当教員の一言

本講義では,広範囲な理工学分野へ応用されるようになっているマイクロ・ナノテクノロジーの基礎とメカニクス,バイオ分野での最先端の応用を学び,マイクロマシンが生み出されるクリーンルームの見学を実施します.

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