- 担当教員
- 篠﨑 和夫 John David Baniecki
- 使用教室
- 木7-8(南7-201)
- 単位数
- 講義：2 演習：0 実験：0
- 講義コード
- 5929
- シラバス更新日
- 2015年3月16日
- 講義資料更新日
- 2015年7月22日
- アクセス指標
-
- 学期
- 前期 / 推奨学期：5
講義
第1回 概論：単結晶の種類と用途、単結晶の作り方Ⅰ
2015年04月09日(木) 7-8時限開講
授業予定(72KB) 
講義
第2回 Course Introduction. Vacuum science and technology: kinetic theory of gases and transport.
2015年04月16日(木) 7-8時限開講
講義
第3回 PVD processes (I): Vacuum pumps and systems, physics and chemistry of evaporation, evaporation hardware and techniques.
2015年04月23日(木) 7-8時限開講
講義
第4回 PVD processes (II): Glow discharges and plasmas, sputtering processes, sputtering hardware and techniques.
2015年05月07日(木) 7-8時限開講
講義
第5回 CVD processes (I): Reaction types, thermodynamics of CVD, gas transport, growth kinetics.
2015年05月14日(木) 7-8時限開講
講義
第6回 CVD processes (II): CVD processes and systems. Film formation and structure (I): Capillarity theory, atomistic nucleation processes (I).
2015年05月21日(木) 7-8時限開講
講義
第7回 Film formation and structure (II): Atomistic nucleation processes (II),
2015年05月28日(木) 7-8時限開講
講義
第8回 Structural characterization of films (SEM, TEM, XRD). Chemical characterization of films (I)
2015年06月04日(木) 7-8時限開講
講義
第9回 Chemical characterization of films (II): Rutherford backscattering spectroscopy (RBS), Secondary Ion Mass spectroscopy (SIMS) .
2015年06月11日(木) 7-8時限開講
講義
第10回 Oral presentation.
2015年06月18日(木) 7-8時限開講
講義
第11回 単結晶概論：単結晶の種類と用途、単結晶の作り方 II
2015年06月25日(木) 7-8時限開講
講義
第12回 結晶成長理論 I：結晶とは、結晶成長の駆動力、核生成
2015年07月02日(木) 7-8時限開講
講義
第13回 結晶成長理論 II：結晶成長速度、吸着
2015年07月09日(木) 7-8時限開講
講義
第14回 結晶成長理論 III：結晶成長の機構、結晶平衡形、成長形
2015年07月16日(木) 7-8時限開講
講義
第15回 結晶成長と状態図：いくつかの状態図を例にして
2015年07月23日(木) 7-8時限開講
期末試験
第16回 試験
2015年07月30日(木) 7-8時限開講
