薄膜・単結晶プロセッシング   Fundamentals of Single Crystal and Thin Film Processing

文字サイズ 

担当教員
篠﨑 和夫  John David Baniecki 
使用教室
木7-8(S7-201)  
単位数
講義:2  演習:0  実験:0
講義コード
5929
シラバス更新日
2013年3月21日
講義資料更新日
2013年7月30日
アクセス指標
学期
前期  /  推奨学期:5

講義

第1回 概論:単結晶の種類と用途、単結晶の作り方 I

2013年04月11日(木) 7-8時限開講

講義

第2回 概論:単結晶の種類と用途、単結晶の作り方 II

2013年04月18日(木) 7-8時限開講

講義

第3回 結晶成長理論 I:結晶とは、結晶成長の駆動力、核生成

2013年04月25日(木) 7-8時限開講

講義

第4回 結晶成長理論 II:結晶成長速度、吸着

2013年05月02日(木) 7-8時限開講

講義

第5回 結晶成長理論 III:結晶成長の機構、結晶平衡形、成長形

2013年05月16日(木) 7-8時限開講

講義

第6回 Course Introduction. Vacuum science and technology: kinetic theory of gases and transport.

2013年05月23日(木) 7-8時限開講

講義

第7回 結晶成長と状態図:いくつかの状態図を例にして

2013年05月30日(木) 7-8時限開講

講義

第8回 PVD processes (I): Vacuum pumps and systems, physics and chemistry of evaporation, evaporation hardware and techniques.

2013年06月06日(木) 7-8時限開講

講義

第9回 PVD processes (II): Glow discharges and plasmas, sputtering processes, sputtering hardware and techniques.

2013年06月13日(木) 7-8時限開講

講義

第10回 CVD processes (I): Reaction types, thermodynamics of CVD, gas transport, growth kinetics.

2013年06月20日(木) 7-8時限開講

講義

第11回 CVD processes (II): CVD processes and systems. Film formation and structure (I): Capillarity theory, atomistic nucleation processes (I).

2013年06月27日(木) 7-8時限開講

講義

第12回 Film formation and structure (II):

2013年07月04日(木) 7-8時限開講

講義

第13回 Structural characterization of films (SEM, TEM, XRD). Chemical characterization of films (I):

2013年07月11日(木) 7-8時限開講

講義

第14回 Chemical characterization of films (II): Rutherford backscattering spectroscopy (RBS), Secondary Ion Mass spectroscopy (SIMS) .

2013年07月18日(木) 7-8時限開講

講義

第15回 Oral presentation.

2013年07月25日(木) 7-8時限開講

Adobe Readerの入手

PDFファイルをご覧になるには、AdobeSystem社のプラグインソフトとして「Adobe Reader」が必要です。
お持ちでない方はこちらからダウンロード(無料)してご利用ください。

Creative Commons License

このページのトップへ