薄膜・単結晶プロセッシング   Fundamentals of Single Crystal and Thin Film Processing

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担当教員
篠﨑 和夫  John David Baniecki 
使用教室
木7-8(南7-201)  
単位数
講義:2  演習:0  実験:0
講義コード
5929
シラバス更新日
2012年3月26日
講義資料更新日
2012年4月12日
アクセス指標
学期
前期  /  推奨学期:5

講義

第1回 概論:単結晶の種類と用途、単結晶の作り方 I

2012年04月12日(木) 7-8時限開講

講義

第2回 概論:単結晶の種類と用途、単結晶の作り方 II

2012年04月19日(木) 7-8時限開講

講義

第3回 結晶成長理論 I:結晶とは、結晶成長の駆動力、核生成

2012年04月26日(木) 7-8時限開講

講義

第4回 結晶成長理論 II:結晶成長速度、吸着

2012年05月10日(木) 7-8時限開講

講義

第5回 結晶成長理論 III:結晶成長の機構、結晶平衡形、成長形

2012年05月17日(木) 7-8時限開講

講義

第6回 結晶成長と状態図:いくつかの状態図を例にして

2012年05月24日(木) 7-8時限開講

講義

第7回 Course Introduction. Vacuum science and technology: kinetic theory of gases and transport.

2012年05月31日(木) 7-8時限開講

講義

第8回 PVD processes (I): Vacuum pumps and systems, physics and chemistry of evaporation, evaporation hardware and techniques.

2012年06月07日(木) 7-8時限開講

講義

第9回 PVD processes (II): Glow discharges and plasmas, sputtering processes, sputtering hardware and techniques.

2012年06月14日(木) 7-8時限開講

講義

第10回 CVD processes (I): Reaction types, thermodynamics of CVD, gas transport, growth kinetics.

2012年06月21日(木) 7-8時限開講

講義

第11回 CVD processes (II): CVD processes and systems. Film formation and structure (I): Capillarity theory, atomistic nucleation processes (I).

2012年06月28日(木) 7-8時限開講

講義

第12回 Film formation and structure (II)

2012年07月05日(木) 7-8時限開講

講義

第13回 Structural characterization of films (SEM, TEM, XRD). Chemical characterization of films (I)

2012年07月12日(木) 7-8時限開講

講義

第14回 Chemical characterization of films (II): Rutherford backscattering spectroscopy (RBS), Secondary Ion Mass spectroscopy (SIMS) .

2012年07月19日(木) 7-8時限開講

講義

第15回 Oral presentation.

2012年07月26日(木) 7-8時限開講

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